Puolijohdelevyviittaa tarkkuusvalmisteisiin metallikoteloihin, runkoihin, kantajiin ja rakenteelliseen komponenttiin, joita käytetään puolijohdevalmistuslaitteissa — mukaan lukien wafer-pinnoitusjärjestelmät, etsauskammiot, kemiallisen mekaanisen tasotuksen (CMP) työkalut, tarkastuskoneet ja automatisoidut materiaalinkäsittelylaitteet (AMHS). Näiden osien on täytettävä huomattavasti tiukemmat toleranssit kuin tavallinen teollisuuspelti, koska mittovirhe vaikuttaa suoraan waferin tuottoon ja prosessin toistettavuuteen.
SEMI E10 -standardin mukaan (Ohje laitteiden luotettavuuden, saatavuuden ja huollettavuuden määrittelyyn ja mittaamiseen), puolijohdeprosessilaitteiden odotetaan ylläpitävän käyttöaikaa yli 95 %. Rakenteelliset peltiosat — kaasusarjapaneelit, robottikäsivarren kiinnikkeet ja kammioiden vuoraukset — ovat ratkaisevan tärkeitä tämän tavoitteen saavuttamiseksi. Mikä tahansa geometrinen poikkeama tai pintasaastuminen näissä osissa voi vaarantaa prosessikemiaa, laukaista hiukkastapahtumia tai aiheuttaa suunnittelemattomia seisokkeja.
Zhejiang Jiafengissä olemme toimittaneetPuolijohdelevykomponentit sähköelektroniikan valmistajille, wafer-käsittelylaitteiden valmistajille ja puolijohdetestausjärjestelmien integraattoreille. Koko oma prosessiketjumme —Laserleikkaus ja robottihitsausläpi5-akselinen CNC-koneistusja sähköpinnoitus — poistaa aliurakoitsijoiden luovutukset, jotka aiheuttavat mittojen vaihtelua ja saastumisriskiä.
Alla oleva taulukko vertaa yleisen teollisen peltin tyypillisiä toleranssi- ja puhtausvaatimuksia puolijohdelaatuiseen pelttiin perustuen julkaistuihin SEMI- ja ASTM-vertailuihin.
| Parametri | Yleinen teollinen pelti | Puolijohdelevy | Viitestandardi |
|---|---|---|---|
| Lineaarinen dimensiotoleranssi | ±0,5 – ±1,0 mm | ±0,05 – ±0,1 mm | ASME Y14.5-2018; SEMI M1 |
| Tasaisuus (300 mm paneeli) | ≤ 1,0 mm | ≤ 0,2 mm | SEMI S2; Laitteiden OEM-spesifikaatio |
| Pinnan karheus Ra | 3,2 – 6,3 μm | 0,4 – 1,6 μm (sähkökiillotetut vyöhykkeet ≤ 0,2 μm) | SEMI F19; ASTM B912 |
| Puhtausluokka (valmistuksen jälkeinen) | Tavallinen rasvanpoisto | Luokka 100 – 1000 (ISO 5–6) puhdas pakkaus | SEMI E78; ISO 14644-1 |
| Jäännöshiukkasten kokoraja | Ei määritelty | ≤ 0,1 μm (kriittiset pinnat) | SEMI E78; ITRS:n tiekartta |
| Materiaalin jäljitettävyys | Tehtaan sertifikaatti valinnainen | Täysi myllysertifikaatti + vaaditaan erän jäljitettävyys | SEMI C10; ISO 9001:2015 |
| Korroosionkestävyys (suolasumute) | 48 – 96 tuntia (ASTM B117) | ≥ 500 h; Prosessi-kemiallinen yhteensopivuus testattuna | SEMI F47; ASTM B117 |
| Kaasujen poisto (tyhjiökammiot) | Ei sovellettavissa | ≤ 1 × 10⁻⁸ Torr· L/s·cm² (ASTM E595:n mukaan) | ASTM E595; SEMI E10 |
Tiedot on koottu SEMI E10:stä, SEMI S2:sta, SEMI F19:stä, ASTM B117:stä, ASTM E595:stä ja ASME Y14.5-2018:sta. Tarkat arvot riippuvat laitteiden OEM-suunnitteluvaatimuksista ja prosessikemiasta.
Materiaalin valintaPuolijohdelevymääräytyy kemiallisen yhteensopivuuden mukaan prosessikaasujen (HF, Cl₂, NF₃, H₂SO₄) kanssa, tyhjiökaasujen poistovaatimuksiin sekä magneettikentän neutraaliuteen elektronisuihkutyökalujen läheisyydessä. Seuraavat materiaalit määritellään yleisimmin puolijohdelaitteiden OEM-valmistajien toimesta, ja kaikki ovat Jiafengin varastossa tai helposti hankintoja:
| Materiaali | Laatu / Seos | Tärkeimmät ominaisuudet | Tyypillinen puolijohdesovellus | Käytetty viimeistely |
|---|---|---|---|---|
| Ruostumaton teräs 316L | UNS S31603 | Vähähiilisiä; erinomainen korroosionkestävyys Cl⁻:lle; ei-magneettinen (μr ≈ 1.02) | Kaasusarjan paneelit, kammion vuorat, AMHS-kehykset | Sähkökiillotettu + passiivoitu (ASTM A967) |
| Alumiini 6061-T6 | ASTM B209 | Hyvä voima-painosuhde; koneistettavissa; anodisoituu hyvin | Robottivarsirakenteet, wafer-kuljetuskantajat, laitekehykset | Kova-anodisoitu tyyppi III (25–80 μm) |
| Alumiini 5052-H32 | ASTM B209 | Korkeampi korroosionkestävyys kuin 6061; helposti muodostuva; hitsattava | Kotelon paneelit, kannet, kaapelinhallintalaatikot | Anodisoitu tyyppi II tai puuterimaali |
| Hastelloy C-276 | UNS N10276 | Ylivoimainen vastustuskyky HCl-, H₂SO₄- ja HF-ympäristöille | Märkäsyövysaseman osat, kemialliset kylpypinnat | Sähkökiillotettu tai koneistettu |
| Elektrolyyttinen kupari C110 | ASTM B152 | Korkea sähkönjohtavuus (≥ 100 % IACS); erinomainen lämmönsiirto | Kiskopalkit, maadoitushihnat, RF-suojaukset, lämmönlevittimet | Tina- tai hopeasähköpinnoitus |
| Kylmävalssattu teräs, SPCC / DC01 | JIS G3141 / EN 10130 | Alhainen hinta; muovattava; On oltava pinnoitettu korroosion estämiseksi | Ulkoiset kaapit, rakenteelliset alakehykset, jotka eivät altistu prosessikaasuille | Sinkkipinnoite + jauhemaali (96–128 h suolasumutetta) |
Materiaalin ominaisuudet perustuvat ASTM B209, ASTM B152, ASTM A240/A240M ja valmistajan datalehtiin. Kaikki Jiafengissä käsitellyt materiaalit hankitaan myllysertifikaateilla, jotka voidaan jäljittää lämpö-/eränumeroon ISO 9001:2015 -standardien mukaisesti.
Jokaisella Jiafengin peltimetalliprosessilla — 12 kW:n kuitulaserleikkauksesta täysin suljettuun sähköpinnoitukseen — on suora sovellusPuolijohdelevyValmistus. Alla oleva taulukko vertaa omat kykymme heidän tuottamiinsa puolijohdelaitteiden alikokoonpanoihin.
| Jiafeng-prosessi | Varusteet / Tekniset tiedot | Saavutettavissa oleva suvaitsevaisuus | Puolijohdeosakokoonpano |
|---|---|---|---|
| Kuitulaserleikkaus | 3 000 – 12 000 W | ±0,05 mm; Ra ≤ 1,6 μm leikkausreunalla | Kammion huoltopaneelit, pakosarjan aukot, EMC-suojalevyt |
| CNC-taivutus (Salvagnini-automaattitaivutus) | 35 T – 250 T; ±0,3° kulma | Taivutuskulma ±0,3°; laipan korkeus ±0,1 mm | FOUP/FOSB-varaston kehykset, laitekotelon paneelit, kaapelihyllyprofiilit |
| NCT CNC-rei'itys | 1500 × 3000 mm pöytä; 45 T – 260 T | Reiän sijainti ±0,1 mm | Ilmanvaihtorei'itetyt paneelit, kaapelinhallintakiinnikkeet |
| Robottilaserhitsaus | 3 000 W laserhitsausrobotti | Hitsaushelmen leveys ≤ 1 mm; särö ≤ 0,3 mm/m | Kaasulaatikkohitsauskokoonpanot, tyhjiökammion hitsauskehykset, ruostumattomasta suojasta suojatut kotelot |
| Pintasähköpinnoitus (sinkki) | Automaattinen galvanointilinja; 3000 × 750 × 1500 mm tankki | 96–128 tunnin suolasumutetta (ASTM B117); Pinnoite 5–25 μm | Rakenteelliset alakehykset, maadoituskiskot, kiinnikkekokoonpanot |
| Jauhemaalaus | Kaksi riviä; Keraamisen muunnoksen esikäsittely | 60–120 μm; Poistokaasujen poisto testataan sovelluskohtaisesti | Ulkoiset laitekaapit, käyttörajapinnan paneelit, apulaitteiden kotelot |
| CMM-tarkastus | E=(1,9+3L/1000) μm korkeatarkka CMM | Mittausepävarmuus ±1,9 μm | Kaikkien kriittisten puolijohdelevyjen mittojen ensimmäinen ja lähtevä tarkastus |
Toleranssiarvot edustavat tyypillistä saavutettavaa suorituskykyä standardeissa tuotantoolosuhteissa. Tiukemmat toleranssit saatavilla pyynnöstä. CMM:n spesifikaatio Renishaw-laitedatasheetin mukaan.
Puolijohdelaitteiden OEM-valmistajien hankintatiimit viittaavat säännöllisesti seuraaviin standardeihin kelpoisuudessaPuolijohdelevytoimittajat. Jiafengin laadunhallintajärjestelmä ja dokumentoidut prosessinvalvonnat ovat linjassa kummankin kanssa:
| Standardi | Myöntävä elin | Laajuus peltilevylle | Jiafengin suuntaus |
|---|---|---|---|
| SEMI S2 | SEMI International | Puolijohdevalmistuslaitteiden ympäristö-, terveys- ja turvallisuusohjeet | Rakennepaneelien suunnittelu, materiaalivalinta, pintaviimeistely |
| SEMI F47 | SEMI International | Jännitelaskun kestävyysvaatimukset — iskevät koteloon ja maadoituslevyn suunnitteluun | Maadoituskisko ja kaappilevyjen valmistus |
| SEMI E10 | SEMI International | Laitteiston luotettavuus, saatavuus ja huollettavuus — ohjaavat rakenteellisten osien palvelusuunnitteluvaatimuksia | Tukipaneelin geometria, saranat ja kiinnikkeiden suunnittelu |
| SEMI E78 | SEMI International | Sähköstaattisen purkauksen (ESD) ohjaus puolijohteiden valmistuksessa | Johtavat/dissipatiiviset pintaviimeistelyvaihtoehdot; Maadoitussuunnittelu |
| ASTM B117 | ASTM International | Standardikäytäntö suolasumutteen (sumulaitteiden) käytössä — korroosiotestaus pintapinnoille | Sähköpinnoituslinjamme täyttää 96–128 tunnin suolasumutteen tämän menetelmän mukaisesti |
| ASTM A967 | ASTM International | Kemialliset passivointikäsittelyt ruostumattomasta teräksestä osissa | 316L ruostumattomien puolijohdekomponenttien valmistuksen jälkeinen passivointi |
| ISO 9001:2015 | ISO | Laadunhallintajärjestelmä — materiaalin jäljitettävyys, prosessinohjaus, vaatimustenmukaisuuden hallinta | Jiafeng on ISO 9001:2015 -sertifioitu; Täydellinen jäljitettävyys koko tuotannon ajan |
Standardikuvaukset, jotka on parafraasoitu SEMI Internationalin ja ASTM Internationalin julkaisuista. Täydelliset standarditekstit saatavilla kunkin myöntävän elimen kautta.
Peltimetallien valmistus on puolijohdekomponentin perusta, mutta valmis osa vaatii usein lisätarkkuusominaisuuksia, pintakäsittelyjä sekä integrointia sähkö- ja ohjausjärjestelmiin. Jiafengin pystysuunnassa integroitu laitos hoitaa kaikki kolme lajia saman katon alla:
Pyytää tarjoustaPuolijohdelevyKomponentit, toimita 2D/3D-piirustuksesi insinööritiimillemme. Palautamme DFM:n palautteen ja yksityiskohtaisen tarjouksen 48 tunnin kuluessa.
